真空管高頻感應(yīng)加熱電源在高頻率，甚至超高頻率、大功率方面有著優(yōu)勢。國內(nèi)生產(chǎn)的電源頻率達到2MHz、功率600kW;在可靠性、穩(wěn)定性方面也是具有明顯優(yōu)勢的；加之“三相交流調(diào)壓-三相高壓硅整流-真空管高頻振蕩-負載”的一機化設(shè)計，新型元器件的采用（如陶瓷振蕩管、陶瓷盤式電容器作為槽路電容等)，使得真空管高頻感應(yīng)加熱電源與固態(tài)感應(yīng)加熱電源并存。當(dāng)然，耗能大、體積大、屬高壓設(shè)備，危險性高是它的缺點。正因為如此，在某些領(lǐng)域已被MOSFET或IGBT固態(tài)感應(yīng)加熱電源所代替。但是，由于它的優(yōu)勢，使得真空管高頻感應(yīng)加熱電源在現(xiàn)在還具有一定的生命力，實際應(yīng)用中用戶可以根據(jù)需要加以選擇。